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第33章 江城七中李东（第2页）

“设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……”

“利用空间几何约束，干涉条纹周期d=λ（2sinθ）……”

“亚波长解析度验证……”

张默是越看越心惊，越看越精神。

这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅立叶光学变换和矢量衍射理论。

但是！

逻辑上却挑不出一点毛病。

而且结尾的备註更是让他眼前一亮。

【註：此方案可以省去高精度掩模版製造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度製造中，成本优势巨大。】

“嘶。”

张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。

“有灵性，这是真的懂行。”

这个学生准確的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。

张默在心里快速估算了一下。

如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用於特定製程的中试线。

省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。

“高相干稳频光源成本虽然会提升2倍左右，但整体bom成本……至少能下降40%！”

他自己都有些惊疑不定了。

“真的假的？”

他快速抽出一张a4纸，飞快的验算起来。

Δcost≈cost_laser_stable-（cost_projection_lens+cost_mask_set）

他在纸上画出了几个简易的模块图，嘴里念念有词。

“如果用他在题里提到的『分光稜镜』做相干分光，配合平面反射镜做光路摺叠，机台的体积还能再缩小……”

如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台，成本比他们现在用的那套设备，起码还要低10%~15%。

“不行，得让组里的人先做个模擬！顺著这个高中物理的思路，看看能不能把那个该死的『相位锁定模块』给简化掉！”

张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了，他拿著试捲起身就向外走去。

旁边的教授诧异道。

“张工，你去哪？卷子还没改完呢。”

张默就像没听见一样，嗯，他確实是没听见，现在他满脑子都是降低成本。

留下几个阅卷老师面面相覷。

“怎么了这是？”

“不知道啊……”

大家议论了下也就继续批改手中的试卷了，谁还没有个改卷改到奔溃的时候呢。

这时，另一个教授拿起一张试卷。